플라즈마란 물질은 보통 고체·액체·기체로 구분하지만, 기체를 더 가열하면 플라즈마를 만들어낼 수 있습니다. 그래서 플라즈마는 흔히 물질의 ‘제4의 상태’라고 불립니다. 이번에는 플라즈마를 이용한 산업용 제품인 플라즈마 이온원과 플라즈마 전자원을 해석해 보겠습니다. 플라즈마 이온원·전자원은 핵융합 연구, 반도체 제조, 질량분석 장치 등 다양한 연구·산업 분야에서 활용되고 있습니다. 그림 1: 플라즈마 이온원의 개념도 플라즈마 이온원·전자원의 해석 당사가 제공하는 PIC PLASMA3D를 사용하여 플라즈마 이온과 플라즈마 전자를 시뮬레이션해 보겠습니다. 해석 모델은 아래와 같습니다. 해석 모델 플라즈마 생성실의 ‘플라즈마’를 인출 전극으로 끌어내어 이온 또는 전자만을 추출하는 구조입니다. 위와 같은 CAD 파일을 작성하고, 플라즈마 생성실의 플라즈마로부터 각 입자(전자·이온)가 인출되는 과정을 해석했습니다. 플라즈마 이온원 해석 ...