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プラズマCVDにおけるプラズマ解析
2026/4/6
プラズマCVDとは よく薄膜形成では、材料を基板の上に均一に積み重ねていくことが重要になります。プラズマCVDは、原料ガスをプラズマで活性化し、基板表面で化学反応を起こすことで薄膜を形成する方法です。 ...
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電子顕微鏡における電子軌道解析
2026/4/1
今回は、PIC-PLASMA 3D（プラズマ解析ソフト）または、PIC-ELECTRON 3D（電子軌道解析ソフト）を用いて、SEM（走査型電子顕微鏡）内部の電子軌道解析をしてみます。 SEM（走査型 ...
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半導体におけるシリコンキャパシタの電場解析
2026/3/21
今回は、ELECTRIC-FIELD 3D（電場解析）で半導体内素子の電場解析をしれみます。 半導体における電場解析について 図２：シリコンキャパシタの概念図 半導体内部では、電子や正孔 ...
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電子銃における電子の引き出しと電子ビーム解析
2026/3/23
今回は、PIC-PLASMA 3D（プラズマ解析ソフト）または、PIC-ELECTRON 3D（電子軌道解析ソフト）で電子銃内の電子軌道解析をしてみます。 電子銃は、電子を発生させて、加速し、細くそろ ...
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プラズマのアーク放電解析
2026/3/20
プラズマとは 図１：物質の4つの状態 よく物質は固体・液体・気体に分けられますが、気体をさらに加熱することでプラズマを生み出すことが可能です。 そのため、プラズマは物質の『第4の状態』と ...
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プラズマ切断機におけるプラズマイオンのターゲット衝突解析
2026/3/19
プラズマとは 図１：物質の4つの状態 よく物質は固体・液体・気体に分けられますが、気体をさらに加熱することでプラズマを生み出すことが可能です。 そのため、プラズマは物質の『第4の状態』と ...
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プラズマエッチング装置におけるプラズマイオンのターゲット衝突解析
2026/3/19
プラズマとは 図１：物質の4つの状態 よく物質は固体・液体・気体に分けられますが、気体をさらに加熱することでプラズマを生み出すことが可能です。 そのため、プラズマは物質の『第4の状態』と表現されます。 ...
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蛍光灯内の電子軌道とガスとの相互作用の解析
2026/3/19
プラズマとは よく物質は固体・液体・気体に分けられますが、気体をさらに加熱することでプラズマを生み出すことが可能です。 そのため、プラズマは物質の『第4の状態』と表現されます。 今回は、プラズマを利用 ...
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PIC-PLASMA 3Dにおける各物理量をグラフで表示する方法
2026/1/8
PIC-PLASMA 3D(lite版・pro版)で出力できる物理量 PIC-PLASMA 3Dにおける解析データは、3次元で出力されます。 ソフト内で可視化できるパラメータは以下の3つです。 電子密 ...
